Strumenti Pulsed NIL

Sistemi combinati Thermal NIL e Pulsed-NIL™

Sistemi Pulsed-NIL

Il primo prodotto commerciale realizzato da ThunderNIL è ULISS, un sistema manuale che permette di gestire wafer interi, adatto ad attività di ricerca presso università e di ricerca e sviluppo. Il sistema permette di stampare substrati dalle piccole dimensioni (~1 cm2) fino a wafer da 4 pollici, con cicli di 1 minuto, cioè 60 wafer/ora con caricamento manuale. Il sistema può essere personalizzato a seconda delle richieste dei clienti  per stampare substrati fino a 8 pollici.

Il sistema ULISS è equipaggiato anche di piastre termiche che permettono di operare anche come pressa termica convenzionale. In questo modo lo stesso strumento permette di replicare mediante T-NIL lo stampo originale e di usare la replica ottenuta per la produzione in serie via Pulsed-NIL.

Eccetto per quanto riguarda il caricamento e la rimozione dei campioni, che viene fatto manualmente, il processo di stampa viene controllato tramite interfaccia computer.

La tecnologia Pulsed-NIL può essere implementata in differenti tipologie di strumenti:

  • Sistemi manuali combinati (Pulsed-NIL + Thermal-NIL)
  • Sistemi completamente automatici (cassette to cassette)
  • Sistemi step & repeat

In particolare il sistema Pulsed-NIL per step & repeat è in corso di sviluppo e permetterà di strutturare ampie superfici ricombinando piccoli pattern senza cuciture. Successivamente si passerà allo sviluppo di un sistema con braccio robotico per la gestione dei substrati.

Stampi Pulsed-NIL

ThunderNIL ha dedicato gran parte dell’attività di ricerca e sviluppo per una tecnologia di stampi affidabile. Sono disponibili diverse soluzioni a seconda delle necessità. La realizzazione di pattern su stampi per Pulsed-NIL può essere fatta su richiesta, in alternativa ThunderNIL può fornire ai clienti stampi vergini da strutturare.

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Stampo montato e connesso allo strumento ULISS 

ULISS: Thermal NIL & Pulsed-NIL system (Datasheet)

Modulo Pulsed-NIL

  • Voltaggio, durata e rate di ripetizione degli impulsi può essere modificata indipendentemente per offrire vaste condizioni di imprinting;
  • Tensioni e potenza adatte a stampare substrati di dimensioni di 6″.

Modulo Thermal-NIL

  • 4 kW che riscandano (fino a 350°C in 3 min);
  • raffreddamento ad aria e acqua (da 350°C a 20°C in 5 minuti)
  • semplice settaggio dei profili di temperatura mediante software;
  • possibilità di controllare indipendentemente le piastre.

Modulo pressione

  • Forza di processo fino a 80KN (~8.1 metric tons);
  • Heavy duty 3kW Oil pump fino a 160 bar;
  • Plates net area 110 x 130 mm;
  • Max apertura delle piastre (stroke) 140 mm;
  • Spazio tra le colonne 190 mm;
  • Area di lavoro sotto flusso laminare con filtro di classe H14.

Sicurezza

  • Dispositivi di chiusura di sicurezza dell’area di lavoro;
  • Schermatura elettronica completa;
  • Livelli protetti con password.

Software e controlli

  • National Instruments cRIO 9074 PLC;
  • Interfaccia FPGA basata su LabVIEW;
  • Acquisizione di impulso V e profilo di corrente (1 µs res.);
  • Processazione automatica dei log file.

Informazioni generali
• Weight approx 200 + 400 kg;
• Potenza elettrica: AC 400V 50Hz 3P+N Max 10kW;
• Aria compressa 4~7 bar <10 l/min;
• Azoto 4~7 bar <10 l/min;
• Acqua di raffreddamento 2~8 bar <5 l/min;
• Dimensioni: two modules with footprint 1200×800 mm and H 1200 and 1900 mm.